GasPro™TEM-100在綫(xiàn)高流(liú)量ePTFE濾(lǜ)器TEM-128-24

GasPro™TEM-100係列濾(lǜ)光片的(dí)設計波長為3 nm顆(kē)粒(lì)截留(liú)率高達300 scfm，以及(jí)溫度敢(gǎn)達(dá)80ºC（176ºF）。ePTFE膜（2.04m2/22.0平方(fāng)英尺)帶著(zhuó)

聚丙烯支(zhī)撐(chēng)結構封閉(bì)在不鏽(xiù)鋼316L外殼，具有的(dí)流動性和(hé)穩定性(xìng)耐(nài)化學性。使(shǐ)用標準(zhǔn)Viton®o形圈（其他o形圈(quān)材(cái)料(liào)可(kě)在重新測試(shì)時獲(huò)得）。

應用(yòng)

•一般和工(gōng)藝惰性(xìng)氣體(tǐ)設施半(bàn)導體(tǐ)，平(píng)板顯示器(qì)和其他高純度應(yīng)用。

•用(yòng)於(yú)關鍵平板工藝(yì)的氣(qì)體(tǐ)，包括(kuò)襯底退火(huǒ)。

•關鍵工藝(yì)的(dí)清(qīng)潔幹燥(zào)空氣，包括：前(qián)開口統一吊(diào)艙(cāng)（FOUP）清潔和安(ān)裝光刻(kè)。

規(guī)格

•過濾等級(jí)我們的多(duō)孔(kǒng)ePTFE濾光(guāng)片(piàn)可(kě)提供(gōng)有效的(dí)3納(nà)米濾(lǜ)光(guāng)片顆(kē)粒保(bǎo)留(liú)。

•高工作溫度(dù)*80攝氏度(dù)（176華(huá)氏度）。

建(jiàn)議(yì)更(gēng)換：在69ºC（156ºF）以(yǐ)上運行(háng)6個(gè)月(yuè)。

•大工作(zuò)壓(yā)力在20°C（68°F）條件(jiàn)下為(wéi)17.2bar（250 psig）。

•大(dà)正向(xiàng)流量(liáng)壓差(chà)

20ºC（68ºF）：6.0bar（87磅/平(píng)方英寸）

80ºC（176ºF）：4.0bar磅/平(píng)方(fāng)英寸）

GasPro™TEM-100係列GasPro™TEM-100在(zài)綫高流(liú)量(liáng)ePTFE濾器(qì)TEM-128-24

•電(diàn)拋(pāo)光外(wài)殼過濾器(qì)組件具有15Ra電拋(pāo)光(guāng)316L不(bù)鏽鋼外(wài)殼(ké)，防止(zhǐ)腐蝕(shí)和(hé)腐(fǔ)蝕(shí)粒子在內(nèi)表麵上堆積。

•包(bāo)裝外清(qīng)潔度我們(mén)的加(jiā)斯普(pǔ)羅™ 清(qīng)潔TEM-100過(guò)濾(lǜ)器(qì)，並在(zài)無塵室內包(bāo)裝，不(bù)含有機(jī)成分(fēn)處(chǔ)理包(bāo)裝(zhuāng)外，無顆(kē)粒和(hé)無(wú)化學品(pǐn)清潔(jié)度。終(zhōng)組件被清(qīng)除用(yòng)過(guò)濾(lǜ)氮(dàn)氣進行(háng)初始清潔。附加的預處(chǔ)理(lǐ)是(shì)可選(xuǎn)的。

•多(duō)種配件選項，便(biàn)於安(ān)裝標(biāo)準(zhǔn)配(pèi)件選項(xiàng)包括端(duān)麵(miàn)/墊片密(mì)封(fēng)，壓縮，對焊(hàn)和(hé)NPT。特殊(shū)配件(jiàn)，包(bāo)括(kuò)三夾（三葉(yè)草）衛生和(hé)法蘭類型，可根據要求(qiú)提供。

•氦泄(xiè)漏測(cè)試所有裝(zhuāng)置(zhì)均以1x10-9 atm cc/秒的(dí)速(sù)度進(jìn)行(háng)測試(shì)。

零(líng)件號，入口/出(chū)口配件(jiàn)，過(guò)濾介質/外殼，其(qí)他材(cái)料(liào)，長度（L）

TEM-115-16 1.0“端(duān)麵(miàn)密封(fēng)入口(kǒu)/出口(kǒu)

PTFE/316L不(bù)鏽鋼鋼聚丙烯

氟橡(xiàng)膠(jiāo)®密封件*899.9毫米(mǐ)（35.43英寸）

TEM-128-24 1.5“FNPT入口/出口864 mm（34.0"）

TEM-150-24 1.5“短(duǎn)管(guǎn)入(rù)口/出口946.2 mm（37.25"）

TEM-160-24 1.5“三夾(jiā)端889 mm（35.0"）